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關(guān)于潔凈室氣流

 更新日期:2019-06-11 點(diǎn)擊量:1705

關(guān)于潔凈室氣流

潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等產(chǎn)生的塵埃的移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。一般潔凈室氣流速度是選0.25-0.5m/s之間,此流速屬微風(fēng)區(qū)域,易受人、機(jī)器等的動作干擾趨于混亂,為了使?jié)崈?/span>潔凈度處于達(dá)標(biāo)狀態(tài),保持潔凈室氣流的均一性就顯得尤為重要

 

例:垂直層流式方向要保持均一氣流須做到:(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一一般無塵室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

 

應(yīng)注意的是,一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處,這樣的話作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;如果分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。

 

此外,潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在附近潔凈度將會差,我們可以在在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減低;另外組裝材料選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,也是氣流是否成為渦流現(xiàn)象重要因素。

 

了解更多潔凈室氣流的知識可參照宏瑞科技前期文章【潔凈室氣流流型的檢測目的和方法】。

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